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上海節能技術展|上海半導體資源化基地:實現硫酸銨廢液高效回收的綠色解決方案

上海節能技術了解到我國半導體產業綠色轉型已迎來重要里程碑——2025年中,上海半導體資源化設備研發及項目示范基地通過審批并正式投產運行,標志著我國在破解半導體產業鏈關鍵環境難題上邁出實質性一步。該基地作為綠色制造理念的生動實踐,其成功投運不僅為即將到來的行業盛會提供了最佳案例,更展現了我國在半導體環保技術創新領域取得的突破性進展。上海節能技術展

基地專注硫酸銨廢液資源化利用,以"預處理—蒸發結晶—資源化利用"為主線,集成MVR(機械蒸汽再壓縮)等先進工藝,實現了高濃度氨氮廢液的閉環處理與資源回收,不僅顯著緩解了本地半導體企業廢液處置壓力,也構建起"廢物—資源"綠色循環的新范式。

作為國內集成電路產業高地,上海匯聚了中芯國際、華虹集團等一批龍頭企業。在人工智能、大數據等新技術驅動下,芯片產能持續提升,2023年上海集成電路產業銷售額已達3251.9億元,同比增長6.37%,預計2025年將突破5000億元。然而,制造過程中產生的硫酸銨廢液規模同步攀升,上海年產生量超過10萬噸,成為制約產業綠色發展的現實瓶頸。該類廢液成分復雜,氨氮濃度高達5000–8000mg/L,遠超《污水綜合排放標準》(GB8978-1996)規定的15mg/L限值,并含銅、鎳等重金屬與有機污染物,傳統跨省處置方式不僅成本超過3000元/噸,更存在泄漏與污染擴散風險。

上海節能技術展|上海半導體資源化基地:實現硫酸銨廢液高效回收的綠色解決方案-

在"無廢城市"與循環經濟政策引導下,上海市加快推進半導體廢液資源化進程。國家"十四五"循環經濟規劃將半導體固廢列為重點方向,上海市配套提出資源化項目每噸150–300元補貼政策,并在《固體廢物綜合治理工作方案》中設定明確目標:2027年前實現硫酸銨廢液資源化率超過85%,MVR技術普及率達到70%。上海自貿區臨港新片區也將集成電路列為重點發展集群,盛美半導體等一批項目獲市經信委、臨港管委會等跨部門支持,逐步形成"政策—技術—產業"協同發展的良性生態。

綠色智造,匯聚未來

在綠色轉型成為全球共識的背景下,上海節能技術展關注到上海半導體資源化基地的建成不僅是技術突破的體現,更是產業鏈與環保鏈深度融合的示范。

來源:上海理際科技環保有限公司網站

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